СО представляет собой комплект из двух образцов, которые полностью готовы к использованию в качестве тест-объектов для калибровки или поверки растровых электронных микроскопов (РЭМ). Каждый из двух образцов размещен в специальном пластиковом контейнере. Оба образца изготовлены на основе двуокиси кремния. На них сформирован периодический микрорельеф поверхности, после чего для придания электропроводности образцам осуществлено вакуумное напыление золота. Образец с индексом РП3 имеет микрорельеф в виде одинаковых между собой шаговых структур с прямоугольной геометрической формой. Образец с индексом РП280 имеет микрорельеф в виде одинаковых между собой шаговых структур с синусоидальной геометрической формой поперечного сечения. Образец РП3 представляет собой прямоугольную пластину 5х5х0.5 мм, образец РП280 представляет собой диск диаметром 12.5 мм и толщиной 2.5 мм. На краевых фрагментах рабочей поверхности СО сформированы мозаичные неоднородности химического состава. На образце РП3 локаль